Методы нанесения тонких пленок Ru и Ir при создании выпрямляющих контактов к GaAs, диффузия в твердом теле и основы метода Резерфордовского обратного рассеяния (РОР)

Авторы:

Захаров Василий Викторович
студент
ТУСУР
город Томск, Томская область

Гюлгасанов Руслан Расим Оглы
студент
ТУСУР
город Томск, Томская область

Наименование материала: научная статья
Тема: Методы нанесения тонких пленок Ru и Ir при создании выпрямляющих контактов к GaAs, диффузия в твердом теле и основы метода Резерфордовского обратного рассеяния (РОР)
Дата публикации: 11.08.2019

В общий разделВернуться назад