Авторы:
Захаров Василий Викторович
студент
ТУСУР
город Томск, Томская область
Гюлгасанов Руслан Расим Оглы
студент
ТУСУР
город Томск, Томская область
Наименование материала: научная статья
Тема: Методы нанесения тонких пленок Ru и Ir при создании выпрямляющих контактов к GaAs, диффузия в твердом теле и основы метода Резерфордовского обратного рассеяния (РОР)
Дата публикации: 11.08.2019